ワークの着座確認が出来るセンサはありますか?

ID: FAQE40058

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回答回答

ワークの着座確認が可能なセンサは複数ラインアップがございます。
各商品の特長やアプリケーション事例をご参考に、課題解決・商品選定にお役立てください

①限定反射型センサ(形B5W-LB)
②フォトマイクロセンサ(形EE-SX)

Explanation解説

①限定反射型センサ(形B5W-LB)

色や材質の影響を受けにくく、鏡面・黒・透明体も検出可能です。LED光をレンズで集光することで、スポット光を小さくしています。

採用実績

■アプリケーション:半導体検査装置

FOUP*1の着座状態を検知します。スポット径が小さいため、FOUP*1が所定位置に正しく着座していない場合は、センサへ戻る反射光が減少し、遮光状態となります。これにより、FOUP*1の位置ズレや着座不良を検知できます。

*1.FOUP(Front Opening Unified Pod :半導体ウェハ搬送用の密閉容器)

②フォト・マイクロセンサ(形EE-SX)

投光部と受光部間の溝にある物体の有無を検出します。
用途に合わせて選べる豊富な商品ラインアップを保有しております。

採用実績

■アプリケーション:半導体検査装置

ウエハカセットの取付有無を検知することが可能です。


商品カテゴリー センサ フォト・マイクロセンサ 限定反射形センサ
分類 トラブルシューティング

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